下一代实用光刻技术--纳米压印技术

• 作者: 乌建中 刘彦伯 朱兆颖 顾长庚
• 来源期刊: 机电一体化
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米压印技术 微接触印刷法 热压印 工艺比较
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 综述·焦点·展望
• 页码范围: 14-19
• 页数: 6页
• 分类号: TS8
• 字数: 4646字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-080X.2005.06.003

摘要

详细介绍了纳米压印技术的应用前景,对目前各种纳米压印工艺进行归纳、分类.通过对不同工艺过程的深入比较,分析了它们的优缺点,并展望了各自的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	乌建中	同济大学机械工程学院	107	497	10.0	16.0
2	朱兆颖	同济大学机械工程学院	3	37	2.0	3.0
3	顾长庚		3	37	2.0	3.0
4	刘彦伯	同济大学机械工程学院	9	70	6.0	8.0