Cu-W薄膜表面形貌各向异性与相结构

• 作者: 徐可为 汪渊 范多旺 陈元华 马栋林
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: Cu-W薄膜 表面各向异性 相结构 小波变换和分形
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 页码范围: 123-127
• 页数: 5页
• 分类号: TG146|TG111.5
• 字数: 3825字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0412-1961.2005.02.003

摘要

提出了-种基于离散小波变换和分形几何概念定量描述薄膜表面形貌各向异性的新方法,并据此研究了磁控溅射Cu-W薄膜表面结构特征随退火温度的演变.结果表明,薄膜表面聚合过程有两个不同阶段:孔洞处形核和颗粒生长;薄膜表面形貌分形维数可很好地描述表面粗化程度.研究发现,表面形貌各向异性变化趋势对相结构变化敏感.指出这种结合小波变换和分形几何概念表征薄膜表面形貌的方法,可以较灵敏地探测到Cu-W薄膜表面结构各向异性变化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪渊	西安交通大学金属材料强度国家重点实验室	5	38	4.0	5.0
3	徐可为	西安交通大学金属材料强度国家重点实验室	238	3333	30.0	44.0
4	范多旺	兰州交通大学光电技术与智能控制教育部重点实验室	112	683	14.0	20.0
5	马栋林	兰州理工大学电信工程学院	17	45	4.0	6.0
8	陈元华	西安交通大学金属材料强度国家重点实验室	1	6	1.0	1.0