SINGULUS 266母盘系统针对高密度格式的母盘制造

• 来源期刊: 记录媒体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 母盘 SINGULUS 266 刻录系统 固态激光器 激光波长 固体激光器 控制回路 玻璃基片 和清 强度控制
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 页码范围: 57-57
• 页数: 1页
• 分类号: TQ596

摘要

【正】266系统对于高密度格式的母盘制造将是一个完美的工具。 SINGULUS MASTERING长期以来就为业界光盘厂提供母盘设备。为了能早日实现高密度格式母盘的生产, SINGULUS公司不断总结经验并将其运用在266系统中。现已设计出一种建立在最稳定的光学基础上的激光刻录 机,使用266nm波长的固态激光器,可以刻录长度为150nm这样小的凹坑结构。激光刻录系统配有针对冷却水和清