(LaxBi1-x)2Ti2O7薄膜X射线光电子能谱研究

• 作者: 刘维民 姚伟峰 尚淑霞 张寅 杨雪娜 王弘
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 介电薄膜 化学溶液沉积(CSD) X射线光电能谱仪(XPS)
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 单晶、薄膜及其他功能材料
• 页码范围: 50-52
• 页数: 3页
• 分类号: TN22+3
• 字数: 1565字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2005.01.016

摘要

采用化学溶液沉积(CSD)工艺在Si(100)衬底上制备了i22Ti2O7(BTO(和(LaxBi1-x)2Ti2O7(BLT(铁电薄膜,薄膜的X射线衍射(XRD)结果显示其具有较好的结晶性,运用X射线光电能谱仪(XPS)对薄膜的结构进行了研究,分析结果表明,薄膜中氧空位的出现影响了其相的稳定性,通过掺La可以改善其性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘维民	中国科学院兰州化学物理研究所国家重点实验室	307	5597	38.0	57.0