真空与磁控溅镀概论

• 作者: 陈厚模
• 来源期刊: 记录媒体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 真空腔 Oxygen 涡轮分子泵 空气分子 NITRO ARGON 抽真空 物理吸附 气体压力 溅射现象
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 页码范围: 59-64
• 页数: 6页
• 分类号: TQ595

摘要

【正】一、真空概论与基本系统架构 地球上对流层空气(Air)的组成为:78．08％氮气(Nitro- gen,N2)、20．95％氧气(Oxygen,O2)、0．934％氩气(Argon, Ar)、0．033％ 二氧化碳(CO2)与0．003％的其它气体(0．00182％ 氖Neon,Ne;0．00053％氦Helium,He……),而真空(Vacuum) 顾名思义就是在一个区域内把所有的气体排除后,该区域中 所处的环境状况。不过,绝对真空仅仅是一个理想的状况,

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈厚模		10	0	0.0	0.0