一种X波段RF MEMS开关的设计与制作研究

• 作者: 刘泽文 刘理天 宣云 李志坚 雷啸锋 韦嘉
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: RF MEMS 开关 X波段 高隔离度
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 页码范围: 475-478
• 页数: 4页
• 分类号: TN304|TN405
• 字数: 2458字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2005.03.004

摘要

设计并制作了一种X波段的电容式RF MEMS开关.该开关在共面波导上的悬空金属膜桥的支撑梁呈螺旋结构,其等效电感值高达134 pH,有效降低了"关"态的谐振频率.结合开关的等效电路模型,使用Agilent ADS软件以及理论公式计算对该开关进行了设计和优化.与传统桥膜电容式开关相比,所介绍的开关"关"态隔离性能得到了很大提高.利用表面微机械工艺,在高阻硅衬底上制备了开关样品.X波段MEMS开关的在片测试结果表明:驱动电压为9 V,"开"态的插入损耗约0.69 dB@11.6 GHz;"关"态的隔离度约27.7 dB@11.6 GHz.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘理天	清华大学微电子学研究所	230	1519	19.0	23.0
2	刘泽文	清华大学微电子学研究所	50	169	7.0	10.0
3	李志坚	清华大学微电子学研究所	84	451	11.0	15.0
4	雷啸锋	清华大学微电子学研究所	6	17	3.0	4.0
5	宣云	清华大学微电子学研究所	5	16	3.0	4.0
6	韦嘉	清华大学微电子学研究所	6	16	3.0	3.0