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微力学测试仪在MEMS键合强度测试中的应用
微力学测试仪在MEMS键合强度测试中的应用
作者:
张大成
张泰华
杨业敏
郇勇
阮勇
原文服务方:
机械强度
微电子机械系统
键合
微悬臂梁
强度
摘要:
研制微力学测试仪,对微电子机械系统中键合结构的强度进行测试.最大载荷为1.4 N,在载荷量程为450 mN时仪器的最高分辨力为10 μN.采用键合在玻璃基底上的硅悬臂梁作为试样.为模拟横力剪切破坏和扭转破坏工况,用微力学测试仪分别在悬臂梁的固定端和自由端施加载荷至试样破坏.测得相应的破坏载荷并计算出最大剪应力.对破坏残骸的显微观察发现,存在玻璃开裂和硅开裂2种失效模式.该技术为微电子机械系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)键合结构的强度表征提供一种有效方法,并可用来进行微悬臂梁或微桥的强度测试.
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文献信息
篇名
微力学测试仪在MEMS键合强度测试中的应用
来源期刊
机械强度
学科
关键词
微电子机械系统
键合
微悬臂梁
强度
年,卷(期)
2005,(3)
所属期刊栏目
微电子机械系统
研究方向
页码范围
331-334
页数
4页
分类号
TH7
字数
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:1001-9669.2005.03.012
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
张泰华
中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室
39
1013
14.0
31.0
2
郇勇
中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室
14
162
6.0
12.0
6
杨业敏
中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室
10
724
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传播情况
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版权信息
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微电子机械系统
键合
微悬臂梁
强度
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
机械强度
主办单位:
中国机械总院集团郑州机械研究所有限公司
中国机械工程学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1001-9669
CN:
41-1134/TH
开本:
大16开
出版地:
河南省郑州市科学大道149号
邮发代号:
创刊时间:
1975-01-01
语种:
中文
出版文献量(篇)
4191
总下载数(次)
0
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
国家重点基础研究发展计划(973计划)
英文译名:
National Basic Research Program of China
官方网址:
http://www.973.gov.cn/
项目类型:
学科类型:
农业
国家高技术研究发展计划(863计划)
英文译名:
The National High Technology Research and Development Program of China
官方网址:
http://www.863.org.cn
项目类型:
重点项目
学科类型:
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