微形貌光电观测镜的光学系统设计

• 作者: 井文才 刘娜 周革 张以谟 张红霞 景超
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光电观测镜 光学系统设计 光纤端面检测 盲孔
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 光学设计
• 页码范围: 13-15,26
• 页数: 4页
• 分类号: TH741
• 字数: 2161字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2005.01.004

摘要

针对微小面积及"盲孔"底面形貌,提出了一种基于直接成像原理的多功能光电检测系统.主要阐述了其光学系统设计思路,即内窥式镜头与显微系统相结合,观测与微扫描相结合.物镜部分采用内窥式探头,可深入内径2.5mm的盲孔内部,数值孔径不受微孔尺寸限制,从而提高了系统分辨力,达到600lp/mm.利用平行平板光学测微器,寻找和瞄准微孔内观测表面的微小细节,可将±0.1mm范围内的被观测目标定位到视场中心.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘娜	天津大学精密仪器与光电子工程学院	54	204	8.0	11.0
2	景超	天津大学精密仪器与光电子工程学院	3	10	2.0	3.0
3	张红霞	天津大学精密仪器与光电子工程学院	45	209	9.0	12.0
4	张以谟	天津大学精密仪器与光电子工程学院	153	1890	20.0	38.0
5	井文才	天津大学精密仪器与光电子工程学院	40	277	11.0	14.0
6	周革	天津大学精密仪器与光电子工程学院	38	190	9.0	12.0