二极溅射沉积Fe-N-O薄膜的形貌与结构分析

• 作者: 崔国栋 杨川 高国庆
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: Fe-N-O薄膜 SEM XPS TEM
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 英文园地
• 页码范围: 783-785
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 387字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2005.05.042

摘要

利用二极溅射的方法在不同衬底上沉积了Fe-N-O薄膜.通过扫描电子显微镜(SEM)、光电子能谱(XPS)和透射电子显微镜(TEM)等先进实验分析手段对二极溅射沉积Fe-N-O薄膜的形貌与结构进行了分析.XPS和TEM的结果表明,薄膜的主要成分为FeO和少量的Fe16N2多晶体组成,生长上存在择优取向;表面均匀、致密、平整,晶粒大小在50nm左右.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨川	西南交通大学材料科学与工程学院	76	303	10.0	14.0
2	高国庆	西南交通大学材料科学与工程学院	31	115	5.0	9.0
3	崔国栋	西南交通大学材料科学与工程学院	30	91	5.0	8.0