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以S、Se为原料的CVD ZnS、CVD ZnSe的化学反应分析
以S、Se为原料的CVD ZnS、CVD ZnSe的化学反应分析
作者:
何莉
王向阳
肖红涛
蔡以超
钱(纁)
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
CVD
ZnS
ZnSe
化学反应
摘要:
本文详细分析了用单质硫或单质硒为原料,在Zn-S-H2-Ar体系或Zn-Se-H2-Ar体系中化学气相沉积生长 ZnS和ZnSe晶体所发生的化学反应,认为在这两种化学气相沉积过程中所发生的化学反应是以锌蒸汽与硫或硒蒸汽反应来实现的.计算出了上述反应的△H、△S和△G这些热力学函数,并将该△G与采用H2S气体(Zn-H2S-Ar体系)和H2Se气体(Zn-H2Se-Ar体系)为原料的CVD ZnS和ZnSe做了对比.实验结果表明,以单质Se为原料生长的CVD ZnSe比以H2Se为原料的CVD ZnSe的努普硬度有显著的提高.
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内容分析
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文献信息
篇名
以S、Se为原料的CVD ZnS、CVD ZnSe的化学反应分析
来源期刊
人工晶体学报
学科
物理学
关键词
CVD
ZnS
ZnSe
化学反应
年,卷(期)
2005,(4)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
700-703
页数
4页
分类号
O782
字数
1596字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1000-985X.2005.04.028
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
王向阳
5
44
3.0
5.0
2
蔡以超
5
50
3.0
5.0
3
何莉
2
5
2.0
2.0
4
肖红涛
3
41
3.0
3.0
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被引次数趋势
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研究主题发展历程
节点文献
CVD
ZnS
ZnSe
化学反应
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
人工晶体学报
主办单位:
中材人工晶体研究院有限公司
出版周期:
月刊
ISSN:
1000-985X
CN:
11-2637/O7
开本:
16开
出版地:
北京朝阳区红松园1号中材人工晶体研究院,北京733信箱
邮发代号:
创刊时间:
1972
语种:
chi
出版文献量(篇)
7423
总下载数(次)
16
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