基于RSM和均匀试验的IC成品率设计方法

• 作者: 周电 荆明娥 郝跃 马佩军 马晓华
• 来源期刊: 电路与系统学报
• 学科: 工学
• 关键词: 均匀试验设计 响应表面方法(RSM) 参数成品率 统计和优化
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 89-92
• 页数: 4页
• 分类号: TN450
• 字数: 3062字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-0249.2005.03.020

摘要

本文给出了一种基于均匀试验设计的响应表面模型,同时得到该模型在VLSI集成电路参数成品率中的优化方法.本方法首先对电路的关键参数进行扫描,确定满足电路基本性能时的参数变化范围.在此范围内,可对电路参数进行以数论方法为基础的均匀试验设计和建立响应表面.对拟合得到的响应表面模型进行CV拟合检验,求出最佳的电路设计值.本方法适用于集成电路的工艺、器件和电路级的模拟.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝跃	西安电子科技大学微电子研究所	312	1866	17.0	25.0
2	荆明娥	复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室	13	57	4.0	7.0
4	马佩军	西安电子科技大学微电子研究所	34	163	8.0	10.0
5	马晓华	西安电子科技大学微电子研究所	40	140	7.0	8.0
6	周电	复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室	16	89	6.0	8.0