15-75nm波段室温干燥空气的光谱分辨XUV透过率测量

• 作者: 尼启良 巩岩 张大威 李忠芳 陈波 陈淑妍 齐立红
• 来源期刊: 光谱实验室
• 学科: 物理学
• 关键词: 室温空气 极紫外辐射(XUV)透过率 光谱测量
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 页码范围: 770-772
• 页数: 3页
• 分类号: O433.1|O434.23
• 字数: 1530字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-8138.2005.04.030

摘要

以McPHERSON 247型掠入射软射线-真空紫外单色仪配合5900 Magnum通道电子倍增器,在室温下测量了不同压强下干燥空气的15-75nm波段光谱分辨极紫外辐射(XUV)透过率,单色仪理论光谱分辨率△λ≤0.075nm,波长扫描间隔0.5nm,有效吸收长度100mm.测量结果与Henke等人的数据进行了对比.