反向流动垂直喷淋式MOCVD反应器设计与数值模拟

• 作者: 左然 张红 徐谦
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 反向流动 MOCVD 反应器设计 数值模拟
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 页码范围: 1059-1064
• 页数: 6页
• 分类号: O484
• 字数: 2700字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2005.06.016

摘要

本文分析了现有的MOCVD反应器存在的不足,提出了一种新型的反向流动垂直喷淋式反应器:反应气体从基片上方的许多平行小喷管喷入反应区,反应后的尾气又从基片上方出口排出,从而减少了反应物浓度沿衬底径向的不均匀性.通过对反应器进行三维数值模拟,改变喷管的中心距、喷管端与衬底的距离、流量、气体压强等参数,确定了反应室内衬底上方温度场与浓度场为最佳时的参数组合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	左然	江苏大学能源与动力工程学院	69	606	14.0	22.0
2	张红	江苏大学能源与动力工程学院	23	150	6.0	12.0
3	徐谦	江苏大学能源与动力工程学院	13	107	6.0	10.0