电热激励硅谐振器件的研究

• 作者: 李炳乾
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 电热激励 微悬臂梁 谐振器件
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 105-107
• 页数: 3页
• 分类号: TN402
• 字数: 2004字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2005.02.006

摘要

设计了悬臂梁结构电热激励、压阻拾取硅微机械谐振器件,分析了电热激励和压阻拾取的基本工作原理,设计了与Bipolar工艺兼容的器件制作工艺流程,并制作了器件样品.对真空中器件的幅频特性进行了实验研究,研究结果表明,在粗真空范围内,保持激励功率不变的情况下,微悬臂梁的振幅、谐振频率与真空度之间具有明显的依赖关系,可以用来设计、制作MEMS粗真空谐振式传感器.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李炳乾	佛山科技学院物理系	7	101	4.0	7.0