Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜的微结构及铁电性能研究

• 作者: 杨传仁 符春林 赵莉 陈宏伟 高志强
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 钛酸锶钡 薄膜 铁电 射频磁控溅射
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 96-99
• 页数: 4页
• 分类号: TN384
• 字数: 2164字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2005.02.005

摘要

采用射频磁控溅射法制备了Ba0.6Sr0.4TiO3(简称BST)薄膜材料,研究了BST薄膜的组成、晶体结构、表面形貌及介电性能.介电偏压特性曲线和电滞回线都表明其具有铁电性,厚度为500 nm、晶粒尺寸为30 nm的BST薄膜,介电系数电压变化率(介电调谐率)为29.4%,矫顽场强(EC)约为12.1 kV/cm,并讨论了介电偏压特性曲线和电滞回线之间的联系,解释了电滞回线不对称的原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨传仁	电子科技大学微电子与固体电子学院	69	525	11.0	18.0
2	陈宏伟	电子科技大学微电子与固体电子学院	51	360	10.0	15.0
3	符春林	电子科技大学微电子与固体电子学院	19	239	10.0	15.0
4	赵莉	电子科技大学微电子与固体电子学院	6	54	5.0	6.0
5	高志强	电子科技大学微电子与固体电子学院	6	54	5.0	6.0