金属/半导体接触孔噪声特性研究

• 作者: 万长兴 包军林 单霞 杜磊
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 金属/半导体接触孔 1/f噪声 可靠性
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 支撑技术
• 页码范围: 58-61
• 页数: 4页
• 分类号: TN34
• 字数: 2393字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2005.05.017

摘要

通过对1μm金属/半导体接触孔链样品施加高应力的加速寿命试验和室温下的噪声频谱测量,得到了1/f噪声、10Hz点频功率谱特征及其变化规律.实验中发现应力前后1/f噪声10Hz点频功率谱有明显的变化.对比实验中电阻和噪声的变化,噪声变化量是电阻变化量的1304倍.1/f噪声可以作为金属/半导体接触孔可靠性的灵敏表征参量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜磊	西安电子科技大学技术物理学院	99	486	13.0	18.0
2	包军林	西安电子科技大学技术物理学院	43	306	10.0	16.0
3	单霞	西安电子科技大学技术物理学院	1	1	1.0	1.0
4	万长兴	西安电子科技大学技术物理学院	3	11	1.0	3.0