硅压阻式压力传感器时漂研究

• 作者: 周宏 段美英 鲁绍坤 黄晓因
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 压力传感器 时漂 输入/输出特性 参数退化 标定
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 页码范围: 59-62
• 页数: 4页
• 分类号: TP202
• 字数: 3024字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2005.01.015

摘要

压力传感器的时漂普遍存在,一直找不到有效的方法来解决.针对因参数退化引起的时漂,采用加速老化试验,得到了压力传感器的失效模式及失效比例.分析了输入/输出特性曲线形状及其随时间和温度的变化规律.提出一种用标准压力对传感器进行实时标定进而获得实时输入/输出特性的方法,标定的实现由程序控制.经验证对比,实时输入/输出特性达到很高的精确度.在0 ～ 45 kPa压力范围、 -10 ～ 45℃温度范围内,根据其计算的压力值与实际压力比较,最大偏差为 0.098 kPa, 最大相对误差0.92 %.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	鲁绍坤	云南农业大学计算机科学系	42	193	7.0	11.0
2	段美英	云南农业大学计算机科学系	17	42	4.0	6.0
3	黄晓因	云南农业大学计算机科学系	34	158	7.0	10.0
4	周宏		4	6	1.0	2.0