高分子湿度传感器的研制

• 作者: 蒋亚东 蒋波 谢光忠 陈翠萍
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 聚酰亚胺 传感器 湿度
• 年，卷（期）: 2005,（10）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 4-5,8
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 1401字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2005.10.002

摘要

通过对湿敏材料-聚酰亚胺(PI)的湿敏机理的分析,设计了高分子电容式湿度传感器的芯片结构,并对其制作工艺进行了详细讨论.在此基础上,对传感器变送电路进行了研究,设计了以双时基电路为主的信号处理电路,并最终制备出了输出电压随环境相对湿度线性变化的湿度传感器.对湿度传感器的湿敏特性的测试表明:在1.82%～91.04%RH范围内,带湿度处理电路的湿度传感器输出的信号与环境的相对湿度成线性变化,电路能对湿度电容输出电容量进行放大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋亚东	电子科技大学光电子信息学院新型传感器教育部重点实验室	318	2024	18.0	25.0
2	谢光忠	电子科技大学光电子信息学院新型传感器教育部重点实验室	48	408	10.0	18.0
3	陈翠萍	电子科技大学光电子信息学院新型传感器教育部重点实验室	1	11	1.0	1.0
4	蒋波	电子科技大学光电子信息学院新型传感器教育部重点实验室	3	22	3.0	3.0