LEC法GaAs单晶生长中热应力分布研究

• 作者: 刘春梅 李明伟 陈怀杰
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 物理学
• 关键词: LEG法 热应力 GaAs单晶
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 546-549
• 页数: 4页
• 分类号: O78
• 字数: 2593字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2812.2005.04.019

摘要

采用有限元法对LEC法生长的3英寸GaAs单晶中的热应力进行求解.假设晶体为轴对称的各向同性线弹性体.主要讨论了不同液封厚度、轴向磁场强度以及晶体转速下的流动和传热所对应的晶体中的热应力分布,同时也考察了界面形状对应力的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李明伟	重庆大学动力工程学院	50	363	10.0	16.0
2	刘春梅	重庆大学动力工程学院	5	43	3.0	5.0
3	陈怀杰	重庆大学动力工程学院	2	36	2.0	2.0