MgO和STO基片上制备YBCO高温超导薄膜生长研究

• 作者: 刘兴钊 李言荣 熊杰 谢廷明 陈家俊 陶伯万
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 高温超导 薄膜 钛酸锶 氧化镁 双轴旋转
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 纳米材料与结构
• 页码范围: 115-118
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2540字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2005.03.004

摘要

用AFM和XRD研究在MgO和STO基片上外延生长2～200nm的YBCO高温超导薄膜的生长机制.采用倒筒式直流溅射装置,首次实现单轴驱动双轴旋转技术,本质上实现同时在MgO基片和STO基片上沉积同一均匀厚度的YBCO薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李言荣		115	824	15.0	21.0
2	刘兴钊		56	310	9.0	14.0
3	熊杰		41	205	6.0	12.0
4	陶伯万		39	165	5.0	10.0
5	陈家俊		7	30	4.0	5.0
6	谢廷明		4	15	2.0	3.0