梳齿的不平行对电容式微机械传感器可靠工作范围的影响

• 作者: 王跃林 董林玺 车录锋
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电容式传感器 惯性传感器 可靠工作范围 脉冲信号
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 373-378
• 页数: 6页
• 分类号: TN43
• 字数: 3230字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.02.030

摘要

分析了梳齿电容式传感器梳齿极板间的不平行在三种电容驱动下,对传感器的可靠工作范围的影响.结果表明梳齿电容在同样的电压驱动下,当电容极板间的倾斜角由0.1°变到0.5°时,单边电容结构和双边电容结构的可靠工作范围变为电容极板完全平行时的0.45,0.56.对力平衡的双边梳齿电容结构,当倾斜角由0.1°变到0.15°时,可靠工作范围分别变为原来的0.925.并针对DRIE工艺刻蚀梳齿的原理,讨论了改进方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王跃林	浙江大学信息学院信电系	39	434	11.0	19.0
5	车录锋	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	38	363	11.0	16.0
6	董林玺	浙江大学信息学院信电系	3	35	3.0	3.0