退火过程中RP缺陷模型及数值模拟

• 作者: 励晔 夏建新 安娜
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 束缚能 析出 Rp缺陷 离子注入 退火
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1203-1207
• 页数: 5页
• 分类号: TN4
• 字数: 3716字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.06.027

摘要

根据一维动力学方程,提出了RP缺陷的演化模型,用于描述离子注入后硼杂质分布在退火过程中出现异常变化的物理现象.通过分析发现缺陷随退火时间呈指数变化,根据变化的时间常数与RP缺陷对间隙原子束缚能的大小有关的原理,提出RP缺陷对间隙原子的束缚能为2.41eV.将该模型模拟硼杂质随退火时间的分布时,得到缺陷的分布与硼原子的分布变化趋势一致,且变化的时间常数相近,这给出了退火中硼出现异常分布的一种新的解释.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏建新	电子科技大学微电子与固体电子学院	12	30	4.0	5.0
2	励晔	电子科技大学微电子与固体电子学院	1	0	0.0	0.0
3	安娜	电子科技大学微电子与固体电子学院	2	0	0.0	0.0