高密度等离子刻蚀机中的等离子体诊断技术

• 作者: 刘明 叶甜春 李兵 王巍 陈大鹏
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子体诊断技术 朗格谬尔探针 发射光谱法 激光诱导荧光法 光谱椭偏法 质谱法
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 技术专栏(半导体先进加工设备)
• 页码范围: 13-17
• 页数: 5页
• 分类号: TN405.982
• 字数: 4061字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2005.03.005

摘要

等离子体诊断技术对于高密度等离子刻蚀过程的监控显得非常重要.讨论了几种主要的等离子体诊断技术:langmuir探针,发射光谱法(OES),激光诱导荧光法(LIF),光谱椭偏法,质谱法,并就其技术特点及在实际运用时面临的问题进行了详细的讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘明	中国科学院微电子研究所纳米制造与新器件集成技术实验室	207	1983	20.0	38.0
2	李兵	中国科学院微电子研究所纳米制造与新器件集成技术实验室	79	708	16.0	24.0
3	叶甜春	中国科学院微电子研究所纳米制造与新器件集成技术实验室	200	911	14.0	18.0
4	陈大鹏	中国科学院微电子研究所纳米制造与新器件集成技术实验室	79	466	10.0	17.0
5	王巍	中国科学院微电子研究所纳米制造与新器件集成技术实验室	34	402	8.0	19.0