基于运动控制技术的非球面测量系统

• 作者: 范剑红 薛波 郭隐彪
• 来源期刊: 厦门大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 运动控制 非球面 测量系统 开放式数控
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 778-782
• 页数: 5页
• 分类号: TH741
• 字数: 3570字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0438-0479.2005.06.010

摘要

为满足非球面光学元件表面精度的测量要求,设计和实现了一种高效数控非球面测量系统.系统基于运动控制技术,构建了四轴联动的测量工作平台.根据数据采集原理,实现对非球面工件表面形位参数进行连续采样.整个系统采用工控微机作为上位机非实时控制,下位机采用高速DSP进行实时控制.在Windows操作系统下,用Visaul C++开发工具完成了测量系统的软件开发.最后通过实验对测量系统的稳定性及其误差进行了分析.实验结果表明.系统行程为100～120 mm,系统误差小于5 μm,能满足普通光学非球面元件测量精度的要求,同时系统体现了较好的通用性和可靠性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭隐彪	厦门大学机电工程系	115	781	14.0	20.0
2	薛波	厦门大学机电工程系	3	9	2.0	3.0
3	范剑红	厦门大学机电工程系	3	23	3.0	3.0