电化学加工微电极的工艺研究

• 作者: 刘尧 张辽远
• 来源期刊: 兵工学报
• 学科: 工学
• 关键词: 机械制造工艺与设备 微细加工 电化学加工 微电极 物理化学
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 实验技术与分析
• 页码范围: 129-132
• 页数: 4页
• 分类号: TG662
• 字数: 3043字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1093.2005.01.029

摘要

应用电化学加工和金属的弹塑性变形理论,通过对铜电极的加工工艺研究,提出了一种新的微电极加工方法,其设计思路是,利用电化学加工的基本理论对微电极工件进行初步加工,当直径达到一定尺寸后,改变电化学加工的电规则,同时对工件施加载荷,此时在其加工截面产生明显的弹性和塑性变形,最终达到微电极要求的尺寸,并经过实验确定了该方法的可行性及其工艺参数.