微尺度下新型MEMS滤波器的研究

• 作者: 李应良 赵继德 马传龙
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微尺度 微机械技术 滤波器 共面波导
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 应用
• 页码范围: 632-635
• 页数: 4页
• 分类号: TN713
• 字数: 3143字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2005.06.030

摘要

分析了MEMS共面波导结构,在MEMS共面波导的基础上设计了一种MEMS滤波器,研究了它的电磁学、热应力等微尺度效应.在这些微尺度条件下分析了器件的相关性能,这些参数为获取实际的MEMS滤波器提供了一些有意义的数据.若改变设计参数,可获取其它同类型的带阻、带通滤波器件,为无线通信中的 MEMS器件研究在材料选择、器件设计等方面提供了一些理论依据及其实际经验.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵继德		17	81	5.0	8.0
2	李应良		8	32	3.0	5.0
3	马传龙		13	24	3.0	4.0