LD-PSD-直角棱镜同轴度测量技术研究

• 作者: 李忠科 薛菊 马骥
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: PSD器件 激光准直光源 同轴度
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 页码范围: 838-840
• 页数: 3页
• 分类号: TN247
• 字数: 2177字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2005.04.039

摘要

半导体激光准直光源(LD)和光斑位置传感器(PSD)固定在从动轴上,直角棱镜固定在主动轴上.并根据该结构建立了测量过程的数学模型,讨论了所存在的主要系统误差以及为消除系统误差的影响所应采取的措施.结论:若激光器不存在安装倾斜误差,PSD传感器也不存在安装平移误差,则在任意两个转角位置进行测量均可得到4个同轴度偏差参数,否则要在任意四个转角位置进行测量方能消除激光器和PSD传感器的安装误差对测量结果的影响.