MEMS结构氧传感器的研究

• 作者: 刘鑫 张辉军 曲伟 邱成军
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 氧传感器 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 页码范围: 531-533
• 页数: 3页
• 分类号: TP212|TN405
• 字数: 1816字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2005.03.023

摘要

采用微加工技术研制了一种以硅为基底材料,具有MEMS结构的氧传感器.阐述了该传感器的工作原理、结构设计、工艺流程以及特性分析.给出了溅射制备TiO2薄膜的方法及锐钛矿型晶体结构能谱,讨论了二氧化钛的氧敏机理.研究表明与传统的气体传感器相比,此种传感器具有体积小、低功耗、可集成的特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张辉军	黑龙江大学集成电路重点实验室	10	50	4.0	6.0
2	邱成军	黑龙江大学集成电路重点实验室	35	231	6.0	14.0
3	曲伟	黑龙江大学集成电路重点实验室	16	49	4.0	6.0
4	刘鑫	黑龙江大学集成电路重点实验室	10	189	4.0	10.0