基于元胞自动机理论的硅各向异性腐蚀模型

• 作者: 刘明 施毅 李泠 郑有炓 陈杰智
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 元胞自动机 各向异性腐蚀 碰撞理论
• 年，卷（期）: 2005,（8）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1671-1675
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.02
• 字数: 2796字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.08.038

摘要

根据硅各向异性腐蚀在微观尺度下的特点,基于元胞自动机理论提出了新的腐蚀模拟模型.该模型考虑了腐蚀过程中硅不同晶面的晶体结构特点,并通过引入碰撞理论,综合反映了腐蚀温度和浓度对腐蚀的影响作用.该模型可快速准确地模拟分析各向异性腐蚀工艺过程,对优化工艺有着理论指导作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘明	中国科学院微电子研究所纳米技工与新器件集成技术实验室	207	1983	20.0	38.0
2	李泠	中国科学院微电子研究所纳米技工与新器件集成技术实验室	8	32	5.0	5.0