高精度电容式动态薄膜测厚仪的研制

• 作者: 刘力双 卢慧卿 李亚标 王宝光 郑义忠
• 来源期刊: 现代仪器与医疗
• 关键词: 电容测微仪 动态测量 串口通讯
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 研制与开发
• 页码范围: 45-47
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7916.2005.03.017

摘要

本文介绍一种高精度高分辨率的仪器--电容式动态薄膜测厚仪.详述仪器的工作原理、应用软件和数据处理方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑义忠	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	60	769	17.0	25.0
2	王宝光	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	88	1144	15.0	30.0
3	卢慧卿	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	13	184	6.0	13.0
4	李亚标	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	15	148	6.0	12.0
5	刘力双	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	11	196	7.0	11.0