小尺寸双极超β晶体管的TCAD设计与优化

• 作者: 李惠军 许新新 郭琦 霍林
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 双极型晶体管 增益 集成电路 计算机仿真 工艺模拟
• 年，卷（期）: 2005,（11）
• 所属期刊栏目: 设计与开发
• 页码范围: 57-59
• 页数: 3页
• 分类号: TN433
• 字数: 1255字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2005.11.015

摘要

基于TCAD一体化系列工具,实现了小尺寸双极性超β晶圆管芯的工艺级及器件物理特性级的设计与优化.提出了基区宽度接近90nm层次下的小尺寸双极性超β晶体管的工艺实施方案.经TSUPREM-Ⅳ和MEDICI一体化仿真、参数提取及特性的验证表明,设计方案完全可以达到器件参数的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李惠军	山东大学孟堯微电子研发中心	51	103	5.0	7.0
2	郭琦	山东大学孟堯微电子研发中心	14	80	5.0	8.0
3	霍林	山东大学孟堯微电子研发中心	7	16	3.0	3.0
4	许新新	山东大学孟堯微电子研发中心	11	20	3.0	4.0