sol-gel法制备的BST薄膜的晶化行为研究进展

• 作者: 徐友龙 李厚刚 王杰 王风雨
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 无机非金属材料 钛酸锶钡 溶胶–凝胶 综述 晶化行为 中间相 钙钛矿相
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 54-58
• 页数: 5页
• 分类号: TM22
• 字数: 5629字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2005.03.017

摘要

重点综述了前驱体、基片和热处理工艺等因素对sol-gel法制备的钛酸锶钡BST(Ba1-xSrxTiO3)铁电薄膜的晶化行为及介电性能的影响,并从动力学和热力学角度进行了解释,进而提出一些实用措施:选用低温分解的羧酸盐和加有螯合剂的钛醇盐作原料、采用与BST晶格匹配度好的基片、提高升温速率、加入晶种或理想的添加剂等,来消除或减弱中间相的影响以实现低温下高介电性能的BST薄膜的sol-gel制备;最后,提出了研究中需进一步解决的课题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐友龙	西安交通大学电子与信息工程学院	47	499	14.0	21.0
2	王杰	西安交通大学电子与信息工程学院	19	142	8.0	11.0
3	李厚刚	西安交通大学电子与信息工程学院	1	8	1.0	1.0
4	王风雨	西安交通大学电子与信息工程学院	1	8	1.0	1.0