激光横向切割长度对片式电阻阻值影响的实验研究

• 作者: 于前洋 汤建华 王志娟
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 激光调阻 横向切割 长度变化率 阻值变化率
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 实验技术与装置
• 页码范围: 35-36
• 页数: 2页
• 分类号: TN2
• 字数: 1525字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-2743.2005.01.015

摘要

激光在片式电阻上的横向切割长度对阻值影响较大,合理设计其长度能够以较低成本提高激光调阻精度及调阻效率.通过实验数据分析得出激光横向切割的长度变化率与阻值变化率之间的定量结论,并拟合了有效横向切割长度的阻值变化率与切割长度变化率之间的关系函数,二者能够为提高调阻精度和调阻效率提供控制依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汤建华	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	19	154	6.0	12.0
2	于前洋	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	28	488	12.0	21.0
3	王志娟	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	10	41	4.0	6.0