非制冷红外FPA结构设计及物理特性有限元模拟

• 作者: 叶甜春 欧毅 石莎莉 陈大鹏
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS FPA 有限元 悬臂梁
• 年，卷（期）: 2005,（12）
• 所属期刊栏目: 微电子技术
• 页码范围: 25-29,38
• 页数: 6页
• 分类号: TN213
• 字数: 2783字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2005.12.007

摘要

提出了一种薄膜式镂空双材料单层膜微悬臂梁结构的非制冷红外焦平面成像阵列(FPA,Focal Plate Array).通过测量热膨胀系数相差较大的两种材料构成的悬臂梁受到红外辐射后的热形变分布,得到红外源的温度分布,从而实现在基于光力效应的光学读出系统中成像的目的.利用解析法建立了单层膜悬臂梁结构的热机械模型,用有限元软件对其优化参数下的热学性能和耦合特性进行了有限元的计算机模拟与分析.模拟热机械灵敏度结果为2.49×10-4 deg/K,与热机械模型预测结果基本一致,为FPA的结构设计提供了有效的参数依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶甜春	中国科学院微电子研究所	200	911	14.0	18.0
2	欧毅	中国科学院微电子研究所	17	77	5.0	7.0
3	陈大鹏	中国科学院微电子研究所	79	466	10.0	17.0
4	石莎莉	中国科学院微电子研究所	5	29	3.0	5.0