单片机控制真空排气工艺的研究

• 作者: 石磊 米伦
• 来源期刊: 自动化与仪器仪表
• 学科: 工学
• 关键词: 单片机 程控排气 真空度 抗干扰
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 实践与创新
• 页码范围: 62-64
• 页数: 3页
• 分类号: TP273|TN108
• 字数: 2264字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9227.2005.02.020

摘要

应用单片机实现电真空器件的程控真空排气,以真空度为工艺进程判据,细化控制量,优化工艺,保证工艺的一致性和稳定性,提高了产品的质量;其程控系统设计合理,操作简便,抗干扰能力强.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	米伦	中国工程物理研究院电子工程研究所	19	63	4.0	7.0
2	石磊	中国工程物理研究院电子工程研究所	16	57	4.0	6.0