离子交换法制取电子级高纯水工艺的改进

• 作者: 于姝莉 李敏 胡艳琴
• 来源期刊: 微处理机
• 学科: 工学
• 关键词: 预处理 反渗透 混床 实用
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 大规模集成电路设计、制造与应用
• 页码范围: 9-10
• 页数: 2页
• 分类号: TQ085
• 字数: 1884字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-2279.2005.04.004

摘要

本文详细介绍了在现代大型微电子工业用高纯水系统中,混床内树脂再生的新工艺.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡艳琴		1	0	0.0	0.0
2	李敏		1	0	0.0	0.0
3	于姝莉		1	0	0.0	0.0