石英陶瓷在精密平台中的应用

• 作者: 张国亮 张晓峰 林彬
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 精密工作台 直线电机 石英陶瓷 热分析 有限元分析
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 73-80
• 页数: 8页
• 分类号: TH145
• 字数: 3198字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2005.01.013

摘要

分析研究了分别采用钢、铝、氧化铝陶瓷、石英陶瓷四种材料的精密直线电机驱动平台的温升、热变形、变形受室温变化的影响、到达热平衡时间等情况.结果表明:有较小导热系数的石英使得热量不易传递,温升明显减小;由于较小的热膨胀系数使得平台热变形较小,同时石英由热膨胀引起的内应力及受室温变化引起的变形变化远小于铝、钢与氧化铝;导热系数小的石英热量传递速度慢,到达热平衡的时间长.精密直线电机驱动平台中,运动平台受直线电机初级部件发热影响最大,所以精密平台应选择导热系数、热膨胀系数小、对温度变化不敏感的材料,石英是此类平台比较理想的陶瓷材料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林彬	天津大学先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室	93	970	18.0	28.0
2	张晓峰	天津大学先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室	21	217	6.0	14.0
3	张国亮		1	17	1.0	1.0