超硬多层薄膜的研究现状及展望

• 作者: 宋绪丁 李宁
• 来源期刊: 材料保护
• 学科: 航空航天
• 关键词: 超硬多层薄膜 超晶格薄膜 纳米多层膜 类金刚石
• 年，卷（期）: 2005,（7）
• 所属期刊栏目: 发展论坛
• 页码范围: 31-35
• 页数: 5页
• 分类号: V261.93
• 字数: 4193字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-1560.2005.07.010

摘要

超硬多层薄膜的性能随调制周期的变化而发生变化,在某一范围出现超模、超硬等异常效应.由于其潜在的实际应用价值及理论意义,超硬多层薄膜成为近年来人们研究的热点.综述了近年来国内外学者对超硬多层薄膜的研究结果,介绍了其超硬多层薄膜类型、主要性能特点以及制备工艺,并对未来的发展趋势进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李宁	长安大学工程机械学院	33	183	9.0	13.0
2	宋绪丁	长安大学工程机械学院	105	516	11.0	18.0