NEMS谐振器的研究与分析

• 作者: 刘文平 宋达 李昕欣 李铁 王跃林
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: NEMS 纳米技术 谐振器
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 页码范围: 30-34
• 页数: 5页
• 分类号: TN303
• 字数: 3403字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2005.01.008

摘要

介绍了NEMS谐振器的主要特点与性能参数.并且详细讨论了NEMS谐振器的材料、制备工艺以及激励与检测手段.同时根据结构与工作模态,分类介绍了近年来国际上出现的几种典型的NEMS谐振器.最后分析了NEMS谐振器发展所面临的挑战,并指出NEMS谐振器将具有良好的应用与发展前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李昕欣	中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家联合重点实验室	7	48	3.0	6.0
2	王跃林	浙江大学信息与电子工程学系	39	434	11.0	19.0
6	宋达	浙江大学信息与电子工程学系	2	25	1.0	2.0
7	刘文平	中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家联合重点实验室	1	24	1.0	1.0
8	李铁	中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家联合重点实验室	2	24	1.0	2.0