外延薄膜X射线表征方法的新进展

• 作者: 杜晓松 杨邦朝
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 倒易空间图 X射线反射谱 外延薄膜
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: O722|TB43
• 字数: 5209字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2005.01.001

摘要

对X射线倒易空间图技术(RSM)及X射线反射技术(XRR)的原理及其在外延薄膜表征方面的应用进行了介绍.RSM主要用于表征外延薄膜的应变、弛豫、马赛克缺陷、倾斜等微观缺陷,因为这些缺陷在倒空间中按不同的方向展宽.而XRR主要用于模拟薄膜的厚度、粗糙度、密度及深度分布.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜晓松	电子科技大学微电子与固体电子学院	61	434	12.0	16.0
2	杨邦朝	电子科技大学微电子与固体电子学院	253	3422	31.0	49.0