硅基1.55μm共振腔增强型探测器

• 作者: 于金中 左玉华 张合顺 成步文 李传波 毛容伟 滕学公 王启明 罗丽萍
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: RCE探测器 高量子效率 直接键合 键合介质 InGaAs
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 271-275
• 页数: 5页
• 分类号: TN215
• 字数: 2081字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.02.010

摘要

报道了一种利用硅乳胶作为键合介质的新型键合技术.高反射率的SiO2/Si反射镜预先用PECVD系统生长在硅片上,然后键合到InGaAs有源区上,键合温度为350℃,无需特殊表面处理,反射镜的反射率可以高达99.9%以上,制作工艺简单,价格便宜.并获得硅基峰值响应波长为1.54μm,量子效率达22.6%的窄带响应,峰值半高宽为27nm.本方法有望用于工业生产.