SOI在射频电路中的应用

• 作者: 刘卫丽 孙晓玮 宋志棠 张苗 林成鲁 狄增峰 王石冶 骆苏华
• 来源期刊: 微电子学
• 学科: 工学
• 关键词: 射频集成电路 高阻SOI FD-SOI CMOS SIMOX
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 67-70
• 页数: 4页
• 分类号: TN431
• 字数: 3427字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-3365.2005.01.019

摘要

随着射频电路(RF)工作频率和集成度的提高,衬底材料对电路性能的影响越来越大.SOI(Silicon-on-Insulator)结构以其良好的电学性能,为系统设计提供了灵活性.与CMOS工艺的兼容使它能将数字电路与模拟电路混合,在射频电路应用方面显示巨大优势.文章分析了RF电路发展中遇到的挑战和SOI在RF电路中的应用优势,综述了SOI RF电路的最新进展.