载能团簇直接诱发硅单晶转变成纳米晶结构

• 作者: 刘仲阳 师勉恭 廖小东 朱洲森 杨朝文 王培禄 王虎 缪竞威 缪蕾 郑思孝
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 氮团簇注入 硅单晶 纳米晶结构 红外吸收谱
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 低能加速器技术、射线技术及应用
• 页码范围: 333-336
• 页数: 4页
• 分类号: O764|O484
• 字数: 2441字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3219.2005.05.002

摘要

用扫描探针显微镜(SPM)观察了能量76keV、剂量1.7×1017cm-2的N+10团簇离子注入Si(111)单晶表面的形貌.发现在此条件下,注入层已直接转化成具有一定粒度分布的纳米晶结构,并测量了形成晶粒的尺度及分布.用红外吸收实验检测了该实样的光学特性.实验表明,该试样对频带很宽的红外光产生了很强的均匀吸收,在红外光区,其透光度均保持在10%左右,表明其注入层已形成一种品质优良的吸光材料.