超分辨近场结构之纳米光刻技术

• 作者: 唐麟 张斗国 明海 焦小瑾 王沛 鲁拥华
• 来源期刊: 量子电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 近场光学 超分辨近场结构 纳米光刻 局域表面等离子体效应
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 840-843
• 页数: 4页
• 分类号: O436|TH74
• 字数: 3092字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-5461.2005.06.002

摘要

超分辨近场结构(Super-RENS)是在传统的超分辨光盘技术和近场光学的基础上发展起来的新技术.介绍了超分辨近场结构的基本原理及其在纳米光刻方面的应用,拓展了超分辨近场结构的外延:在近场范围内,能实现超过衍射极限的纳米多层膜结构.局域表面等离子体效应在高密光存储、纳米光刻等纳米光子学研究领域具有重要的科学意义和应用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	明海	中国科学技术大学物理系	104	743	13.0	21.0
2	鲁拥华	中国科学技术大学物理系	23	194	7.0	13.0
3	唐麟	中国科学技术大学物理系	7	116	6.0	7.0
4	王沛	中国科学技术大学物理系	55	408	10.0	17.0
5	张斗国	中国科学技术大学物理系	10	89	5.0	9.0
6	焦小瑾	中国科学技术大学物理系	5	78	4.0	5.0