VHF-PECVD法制备氢化硅薄膜及单结电池

• 作者: 吴志猛 奚建平 耿新华 赵颖 雷青松
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微晶硅 硅烷浓度 太阳电池
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 页码范围: 1122-1125
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.055
• 字数: 2301字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2005.06.029

摘要

利用VHF-PECVD分解硅烷和氢气的混合气体来制备本征微晶硅薄膜.运用拉曼散射和X射线衍射研究了不同硅烷浓度对薄膜的影响.随着硅烷浓度的增加,沉积速率和光敏性增加而晶化率下降.将优化的本征材料应用到pin电池中,得到本征层厚度约为1μm的微晶电池,效率达5.87%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	耿新华	南开大学光电子薄膜器件与技术研究所	62	364	13.0	17.0
2	赵颖	南开大学光电子薄膜器件与技术研究所	105	1195	16.0	33.0
3	奚建平	上海交通大学微纳米科学技术研究院	5	39	4.0	5.0
4	吴志猛	上海交通大学微纳米科学技术研究院	1	0	0.0	0.0
5	雷青松	上海交通大学微纳米科学技术研究院	1	0	0.0	0.0