用增强质子背散射研究注氦纳米晶钛膜中氦的含量

• 作者: 刘东剑 刘宁 刘慢天 吴兴春 吴英 安竹 段艳敏 罗顺忠 郑思孝 龙兴贵
• 来源期刊: 四川大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 增强质子背散射 氦离子注入 纳米晶钛膜 保持剂量 释放速率
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 页码范围: 112-116
• 页数: 5页
• 分类号: TL99:O741
• 字数: 2791字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0490-6756.2005.01.023

摘要

作者使用增强质子背散射方法,分析了几种Mo基体纳米钛膜中氦的保持量情况.结果表明:采用离子注入法注入的氦在纳米钛膜中能保存较长的时间,氦的释放速率受氦在钛膜及基体中的分布、钛膜中氦浓度大小的影响;Ar,He混合气体放电法工作参数的选择可影响渗氦的效率.