蓝光ZnO薄膜的特性研究

• 作者: 朋兴平 杨扬 杨映虎 王印月 耿伟刚
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO薄膜 硅衬底 光致发光 射频反应溅射
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 531-534
• 页数: 5页
• 分类号: O472.3|O482.31
• 字数: 2250字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-7032.2005.04.023

摘要

采用反应溅射法在n型硅(100)衬底上制备了ZnO薄膜,分别用X射线衍射仪、原子力显微镜和荧光分光光度计对样品的结构、表面形貌和光致发光特性进行了表征.X射线衍射结果表明,实验中制备出了应变小的c轴择优取向的ZnO薄膜;原子力显微镜观察表明,薄膜表面平整,颗粒大小约为50 nm,为柱状结构,颗粒垂直于硅衬底表面生长;在室温光致发光(PL)谱中观察到了波长位于434 nm处的较窄的强蓝光发射峰,该蓝光峰的半峰全宽约为50 meV.对蓝光峰的发光机制进行了讨论,并推断出该蓝光峰来源于电子从Zn填隙缺陷能级向价带顶跃迁.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朋兴平	兰州大学物理科学与技术学院	10	188	7.0	10.0
2	王印月	兰州大学物理科学与技术学院	39	567	15.0	23.0
3	耿伟刚	兰州大学物理科学与技术学院	2	14	2.0	2.0
4	杨映虎	兰州大学物理科学与技术学院	13	137	7.0	11.0
5	杨扬	兰州大学物理科学与技术学院	10	63	5.0	7.0