基于光栅成像投影的微位移检测方法

• 作者: 曾爱军 王向朝
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 测量与计量 微位移 光栅 傅里叶变换 成像投影 光弹调制器
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 测量技术
• 页码范围: 394-398
• 页数: 5页
• 分类号: TN247
• 字数: 2939字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2005.03.022

摘要

提出了一种基于光栅成像投影的微位移检测方法,利用光学傅里叶变换原理给出了具体的理论分析.准直激光束照明的光栅通过一个4f系统成像投影在被测物体表面上,光栅投影经过被测物体表面反射后由另一个4f系统成像在探测光栅上.探测光栅由一个透镜组成像在光电探测器上,其中采用由起偏器、光弹调制器和检偏器组成的偏振调制单元对探测光强进行调制.通过在4f系统的频谱面上设置滤波光阑,在光电探测器上获得了与被测物体的微位移成正弦关系的光强变化,检测出光电探测器上的光强变化即可以获得被测物体的位移量.实验验证了该检测方法的可行性,其重复测量精度小于25 nm(1σ).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王向朝	中国科学院上海光学精密机械研究所	170	1628	23.0	35.0
2	曾爱军	中国科学院上海光学精密机械研究所	33	188	8.0	13.0