甲烷浓度对等离子喷射金刚石厚膜生长稳定性的影响

• 作者: 左敦稳 李多生 王珉 相炳坤 赵礼刚 陈荣发
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石厚膜 生长稳定性 甲烷浓度 直流等离子喷射 化学汽相沉积
• 年，卷（期）: 2005,（10）
• 页码范围: 1091-1094
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.442
• 字数: 1834字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0412-1961.2005.10.017

摘要

采用高功率直流电弧等离子体CVD工艺制备了不同厚度的无裂纹自支撑金刚石厚膜.实验中观察到在金刚石厚膜生长过程中出现了形貌不稳定性,其程度随甲烷浓度的不同而变化.从理论和实验两个方面对这种不稳定性进行了讨论,认为直流电弧等离子体的高温造成碳源高饱和度是生长不稳定性的根本原因.实验结果表明,在沉积金刚石厚膜时,为了稳定地获得高质量的厚膜,甲烷浓度不宜过高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	左敦稳	南京航空航天大学机电学院	510	3780	26.0	32.0
2	陈荣发	南京航空航天大学机电学院	9	65	5.0	8.0
6	李多生	南京航空航天大学机电学院	8	65	5.0	8.0
7	相炳坤	南京航空航天大学机电学院	20	134	8.0	10.0
8	赵礼刚	南京航空航天大学机电学院	5	46	4.0	5.0
9	王珉	南京航空航天大学机电学院	205	2631	27.0	40.0