周期极化的电极结构及相关工艺缺陷的电场分析

• 作者: 于建 倪文俊 李世忱 桑梅 武星 纪磊
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 非线性光学 准相位匹配 铌酸锂 周期极化 外加电场法 有限元法
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 页码范围: 805-811
• 页数: 7页
• 分类号: O76
• 字数: 2833字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2005.05.009

摘要

本文采用有限元方法分析外加电场法对铁电体进行周期极化时的电场分布,讨论尖端效应对极化的影响,比较两种不同的电极设计方案-梳形电极和框形电极的优劣.分析了多周期光栅同时极化时的电场分布,推断了大周期与小周期之间存在的竞争现象.本文最后对光刻造成周期电极的断条、毛刺工艺缺陷和液体电极方案的残留气泡缺陷进行了探讨.数值计算得出的结论比较圆满地解释了实验中的许多现象.